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AL 18

典型应用:

等离子清洗,适合于小体积产品,小批量生产和实验室使用

• 改善Die Bonding
• 改善Wire Bonding
• 改善锡球焊接
• 改善倒装底部填充(FC Underfill)
• 改善塑封(Molding)/封胶

技术规格: 

 •等离子源:2.45Ghz微波等离子源,600W 

•腔体:铝.长250mm,宽250mm,深290mm,18L 

•外观尺寸:长530mm,宽600mm,高550mm 

•处理气体:1路气体+数字MKS流量控制器 

•真空腔门:铰链门+观察窗 

•观察窗UV与微波屏蔽保护 •GUI 7"触摸屏,Window CE操作系统 

 选项: 

•进口干泵系统(含相关附件)

•信号灯塔-红黄绿三色 

•额外的处理气体线路-最多至4路气体 

•旋转台-φ200mm,旋转速度可调 

•ECR机构 

•包装,运输